液冷管路原理是什么？

在微电子工业中，液体冷却技术对于准确控制各种制造和测试设备的温度起着至关重要的作用。例如，在半导体晶片制造过程中，晶片夹具需要配备液体冷却系统，以带走高能离子轰击产生的热量并控制晶片温度。否则，由于温度过高，晶片可能具有光致抗蚀剂的网络结构。由此可见，液体冷却系统不仅关系到设备的安全运行和使用寿命，还关系到产品的产量和性能。在整个液体冷却系统的部件中，选择合适的管道和接头非常重要。作为流体传输行业“无泄漏”的先驱，Parker Hannifin可以为微电子行业的液体冷却系统提供多种高质量的流体连接解决方案，以满足不同设备的冷却需求。

液冷管路（水冷散热器）通过液体流与散热器内表面之间的摩擦带走大量热量，从而发挥散热作用。与普通风冷散热器相比，液冷管路具有安静、冷却稳定、对环境依赖性小等优点。液冷管路的散热性能与冷却液（水或其他液体）的流速成正比，冷却液的流速与冷却系统水泵的功率有关。此外，水的热容量大，这使得水冷式制冷系统具有良好的热负荷能力。液冷管路的原理，当液体吸收装置的热量时，它将从装置上的水冷块流出，新的低摆幅循环液体继续吸收装置的热。

需要注意的是，虽然液冷管路有很多优点，但这并不意味着空气冷却不好。用户在根据实际情况选择散热器时需要考虑很多方面。采用平端阀芯，断开时无溢流；流量大，流量压降特性好，冷却性能稳定，能耗低；采用对齐导向插头连接和套筒反向推断的设计，操作方便，不会意外断开；不锈钢、各种密封材料和油口选项可用。采用端面O型圈软密封，嵌入Parker独特的O型圈楔槽，密封性能更加稳定可靠。这不仅进一步提高了装配安全性，而且更好地实现了无泄漏连接，并优化了安装和维护成本。由于具有高度可靠的连接和密封性能，它可以进一步减少微电子行业中冷却系统管道的重复安装，并降低维护成本。一家国内半导体薄膜设备制造商为其洁净室的去离子水冷却系统选择NSS快速连接器，以与室外循环过滤系统建立快速连接。

在该应用中，由于冷却系统位于洁净室中，快速更换连接器需要满足洁净室的生产要求，同时实现快速连接。NSS快换接头的材料与去离子水相容，耐腐蚀。